ATLEX-LR 准分子激光器
ATLEX-LR
新一代紧凑型风冷式,高重复率的准分子激光器,专为低占空比应用设计。
主要特点
ª 激光腔体<3L
ª 全新技术的金属陶瓷腔
ª 集成真空泵和卤素过滤器
ª 全部风冷,温度控制
ª 系统集成RS485,RS232,USB和FOC接口
ª 方便清洗的光学镜架
ª 能量稳定模式
ª 符合欧洲CE标准
ª RoHS认证
特性
ª 优化193nm激光器性能,更适用于LA-ICP-MS方面的应用
ª 与ATLEX-I具有类似的技术参数
ª 极快的脉冲上升时间和峰值功率密度
技术规格
气体介质
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ArF
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波长
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193
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nm
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最大脉冲能量 1
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12
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mJ
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最大稳定能量
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10
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W
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最大重复频率
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1000
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Hz
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脉冲宽度 2
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5
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ns
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光斑尺寸 2 (V x H)
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4 x 6
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mm
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光束发散角 2 (V x H)
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1 x 2
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mrad
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能量稳定性 (标准差)
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< 2
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%
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尺寸 (L x W x H)
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540 x 470 x 370
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mm
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重量
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60
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kg
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冷却方式
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风冷
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电源要求
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230 VAC / 6,3 A / 1 phase / 50-60 Hz
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所有规格都是典型的数据,如产品有改进,恕不另行通知更改。
1 在最低重复频率情况下测得: 应用能量稳定模式将会有10%的输出能量损失。
2 典型值, FWHM。