Optec Light Bench-Rx准分子激光微加工系统

Light Bench-Rx准分子激光微加工系统

基于正常思维，对于激光加工方面的推测-它在光束传送上为UV激光微加工提供市场上最灵活的，高性价比的解决方案，现在有扩展了多波长的性能。

性能 :

通过聚光透镜可观测到零件，拥有独特的WYSIWYG共焦性能；当零件在CCTV监视器上显现处于焦点之上时，激光束会自动的在零件上对准焦点，发出激光对突出区域进行精确加工。

激光微加工的材料包括各种不同的聚合物，陶瓷，玻璃，金属，薄膜等。

最佳能量密度为材料依附范围在0.25-25J/cm²内。

待处理区域同时依赖于遮罩，激光光束尺寸，的选定的demag及能量密度要求。典型特征尺寸为2-2000µm。

加工率依材料特点而定，0.05 - 5 µm/激光发射。在某些情况下热效应也会限制最大发射的重复率。

关键特征:

加工头：具有高分辨率共焦分色镜头，TTL目视系统和同轴照明设备可进行实时监视加工结果

单一焦点控制伴随数字定位显示：CCTV图象聚焦= UV聚焦= WYSIWYG性能

高硬度轨道，完全可调底座；易于配置适用于其他仪器及获取可复制的结果。

广泛的辅助程序；-配置系统后适用于激光及应用程序

应用：

精密打孔-过滤器，喷墨装置，喷嘴，导管，探针板

凹槽磨削-纤维底座，流控技术，切割

3D显微结构-光纤显微镜头，微透镜阵列

清洗-细线剥离

光学：

波长                     193nm to 1.064µm 193nm到 1.064µm

精确能量密度        0.1J/cm2 to 25J/cm2 0.1J/cm2 到 25J/cm2

材质                     聚合物，无机物，金属

FOV                     达2mm

机加工分辨率        <1.5 micron

能量控制              5%到 95%

遮罩可选              从简单的遮罩到可调孔径多方位选取器

缩倍                     4x to 20x,或无焦

TTL显示                达500x

零件照明               集成

机械： 

分色镜头聚焦范围            35mm –Z轴可调

操作高度                         3点支撑可调

轨长                               500-2000mm