Optec LSV3-紧凑准分子激光微加工系统

LSV3-小型微加工系统

极短的准分子激光脉冲输出10-20mJ，相当于兆瓦的峰值功率，可以应用在快速成型，微加工和微电子领域。

可用于生物芯片、聚酯、玻璃、硅片、薄金属、陶瓷等材料的加工。

相比其它准分子激光器ATLEX的优势：

脉宽更短(4~6ns),尖峰能量密度更高.更适合高质量的材料加工

空间相干性更好,空间长度>1~2mm

更优秀的光束质量,使得基于微机械加工系统的ATL激光器能满足大部分材料加工的要求

光束定向更稳定.在大于20~60分钟的长时间连续操作下,角偏差保持在200 µm 以内

德国 ATL与比利时OPTEC合作开发的微加工系统，是目前世界范围内最顶尖的小型准分子微加工系统。

特性和规格:

机器类型	LSV3头部含n.a。0.2 193nm镜头, 同轴照明及颜色聚焦。TTL 检视。
结构	黑色亚光处理，焊接钢框架,辉长岩基地，桥形结构，蜂巢形光学控制台，光学滑轨。
激光源	ATL Atlex准分子激光。
能量控制	AT4010 5-85%手动，外加通门控制
面罩的光束控制	动态系统镜面
面罩	机械线性顺序选择器
德马格设计	德马格开关:10X & 16X
目标成像分辨率	1.5μm
目标区	达10J/cm²
零件支撑	TBD
零件移动	100×100mm 运动区域,150×150mm 选择范围
位置重复性	1μm
速度	200mm/s(受软件限制)
系统控制	工业PC, A3200 控制器，过程功率2010
Beath路径	管式，冲刷式
安全性	互锁功能，符合CE标准，轻型塔式