ATLEX-S OEM用准分子激光器
ATLEX-S系列激光器是一款非常紧凑的紫外光源，设计用于低、中占空比的OEM应用。
主要特点
ª 超紧凑的尺寸
ª 超快电晕预电离技术
ª HV-固态脉冲发生器
ª 激光腔体<3L
ª 全新技术的金属陶瓷腔
ª 集成真空泵和卤素过滤器
ª 全部风冷，温度控制
ª 系统集成RS485，RS232，USB和FOC接口
ª 方便清洗的光学镜架
ª 能量稳定模式
ª 符合欧洲CE标准
ª RoHS认证
应用
ª 医学（屈光手术）
ª 光谱学
ª 微加工
ª 试验和测量
技术规格
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气体介质
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ArF
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KrF
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波长
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193
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248
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nm
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高压开关技术
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固态开关
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最大重复频率
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300
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500
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300
|
500
|
Hz
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最大脉冲能量 1
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10
|
10
|
15
|
15
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mJ
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最大平均功率
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2,4
|
4
|
4
|
6
|
W
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脉冲宽度 2
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5 – 8
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ns
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光斑尺寸 2 (V x H)
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4 x 6
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mm
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光束发散角 2 (V x H)
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1 x 2
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mrad
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能量稳定性 (标准差)
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< 3
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%
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尺寸 (L x W x H)
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630 x 400 x 300
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mm
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重量
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60
|
kg
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冷却方式
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Air
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电源要求
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230 VAC / 6,3 A / 1 phase / 50-60 Hz
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所有规格都是典型的数据，如产品有改进，恕不另行通知更改。
1 在最低重复频率情况下测得： 应用能量稳定模式将会有10%的输出能量损失。
2 典型值, FWHM。
010-62530265
13911171804
